ZQ3050×16機(jī)械搖臂鉆床切線規(guī)的尺度長度、光學(xué)讀數(shù)顯微鏡、雙頻激光干涉器等。標(biāo)準(zhǔn)長度以測量雙頻激光干涉器為基準(zhǔn)。旋轉(zhuǎn)運(yùn)動檢測工具有高精度圓光柵、ZQ3050×16機(jī)械搖臂鉆床360個齒精度的標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)臺、角多面體。

1、直線運(yùn)動定位精密度檢測一般是在機(jī)床空載狀況下開展的，依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定數(shù)控機(jī)床檢測是以激光測量ZQ3050×16機(jī)械搖臂鉆床為準(zhǔn)的，假如沒有激光測量儀器，還可以依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)刻線尺開展比照測量。在這種檢測自身方法更有利的條件下，掩模版尺度的精度ZQ3050×16機(jī)械搖臂鉆床和薪酬因素可控制在0.004~0.005mm/千毫米的精度。


2、定位精度是通過坐標(biāo)軸快速移動一定距離來測量的，因為每個機(jī)床的快速點(diǎn)定位過程中都有自動加/減速過程，加/減速過程的時間常數(shù)由數(shù)控系統(tǒng)的系統(tǒng)ZQ3050×16機(jī)械搖臂鉆床系統(tǒng)參數(shù)(也稱機(jī)床數(shù)據(jù))決定。改變該參數(shù)值可以改變加/減速過程的時間常數(shù)，因此在調(diào)整過程中修改相關(guān)系統(tǒng)參數(shù)也會影響定位精度。